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產品簡介
產品型號：Pioneer240、Pioneer180、Pioneer120Pioneer系列PLD系統---基于經驗的創新設計Neocera利用PLD開展了深入廣泛的研究，建立了獲得薄膜質量的臨界參數，特別適用于沉積復雜氧化物薄膜
產品分類
產品型號：Pioneer240、Pioneer180、Pioneer120
Pioneer系列 PLD系統---基于經驗的創新設計
Neocera利用PLD開展了深入廣泛的研究，建立了獲得薄膜質量的臨界參數，特別適用于沉積復雜氧化物薄膜。這些思考已經應用于Pioneer系統的設計之中。
很多復雜氧化物薄膜在相對高的氧壓（>100Torr）下冷卻可獲得更高的質量。所有Pioneer系統都具備此功能（壓力范圍可從額定初始壓強到大氣壓）。這也有益于納米粒子的生成。
Pioneer PLD系統的激光束入射角為45°，保持了激光密度在靶材上的均勻性，同時避免使用復雜而昂貴的光學部件。更大的入射角能夠拉長靶材上的激光斑點，導致密度均勻性的損失。
為了避免使用昂貴的與氧氣兼容的真空泵，消除油的回流對薄膜質量的影響，所有Pioneer系統的標準配置都采用無油泵系統。
我們的研究表明靶和基片的距離是獲得薄膜質量的關鍵參數。Pioneer系統可以控制靶材和基片的距離，以達到的沉積條件。
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